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头条百科_SuperView W1 光学3D轮廓皮相仪

子细信息   1、产品描绘

  SuperView W1光学3D轮廓皮相仪是一款用于对各种周详器件及质料轮廓举行亚纳米级测量的检测仪器。它因此黑光干与武艺为情理、云集周详Z向扫描模块、3D 建模算法等对器件轮廓举行非接触式扫描并创建轮廓3D图像,经详细碎软件对器件轮廓3D图像举行数据从事奖惩与正文,并取得反响反应器件轮廓品质的2D、3D参数,从而完成器件轮廓形容3D测量的光学检测仪器。

 


头条百科_SuperView W1 光学3D皮相外观仪

  SuperView W1光学3D轮廓皮相仪可遍及利用于半导体创作创造及封装工艺检测、3C电子玻璃屏及其周详配件、光学加工、微纳质料及创作创造、汽车零部件、MEMS器件等超周详加工行业及航空航天、国防军工、科研院所等局限中。可测各类从超滑润到毛糙、低反射率到高反射率的物体轮廓,从纳米到微米级别工件的毛糙度、平铺度、宏观几何何皮相、爽快等,供给凭据ISO/ASME/EUR/GBT四大国内外类型盘算300余种2D、3D参数作为评估类型。

两、    产品成果

1)拥有各种规范样品轮廓宏观形容的3D皮相重建与测量成果;

2)拥有轮廓毛糙度以及宏观皮相的检测成果,毛糙度范畴涵盖0.1nm到数十微米的级别;

3)拥有校平、去除了形状、去噪、滤波等数据从事奖惩成果;

4)拥有毛糙度正文、皮相正文、组织正文、成果正文等轮廓参数正文成果;

5)拥有自动对焦、自动测量、自动多地域测量、自动拼接测量等自动化成果;

6)拥有一键正文、多文件正文等倏地、批量正文成果;

7)拥有word、excel等数据报表导出成果。

3、    利用局限

  对各种产品、部件以及质料轮廓的平面度、毛糙度、荡漾度、面形皮相、轮廓强点、磨损现象、堕落现象、孔隙间隙、台阶高度、直折勉弱变形现象、加工现象等轮廓形容特色举行测量息争释。

利用样板:

半导体.抛光硅片、减薄硅片、晶圆IC

 


头条百科_SuperView W1 光学3D皮相外观仪

 

3C电子.蓝宝石玻璃毛糙度、手机金属壳模具瑕疵、手机油墨屏高度差

 


头条百科_SuperView W1 光学3D皮相外观仪

 

超周详加工.光学透镜

 

周详加工.发动机叶片

 


头条百科_SuperView W1 光学3D皮相外观仪

 


头条百科_SuperView W1 光学3D皮相外观仪

 

周详加工.金字塔型金刚石磁头

 

类型样块.单刻线台阶、多刻线毛糙度

 


头条百科_SuperView W1 光学3D皮相外观仪

 


头条百科_SuperView W1 光学3D皮相外观仪

 

4、性能特点   1.高精度、高几次性

1)采纳光学干与武艺、周详Z向扫描模块以及优异的3D重建算法造成测量细碎,包管测量精度高;

2)共同的隔振细碎,可能有效一连完毕频次2Hz以上绝大部门振动,

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,勾销了空中振动噪声以及悦氛中声波振动噪声,担保仪器在大部门的临盆车间环境中能不乱应用,失遗失极高的测量几次性。

2.一体化行使的测量正文软件

1)测量与正文同界面行使,不必切换,测量数据自动统计,完成了倏地批量测量的成果;

2)可视化窗口,就于用户实时视察扫描进程;

3)云集自定异见人士释模板的自动化测量成果,可自动实现多地域的测量与正文进程;

4)几何何正文、毛糙度正文、组织正文、频次正文、成果正文五大成果模块完好相对于;

5)一键正文、多文件正文,安闲组合正文项保管为正文模板,批量样品一键正文,并供给数据正文与统计图表成果;

6)可测凭据ISO/ASME/EUR/GBT等类型的多达300余种2D、3D参数。

3.周详哄骗手柄
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